氣動(dòng)測(cè)量儀通常由已知長度部分、定位瞄準(zhǔn)部分、放大細(xì)分部分、顯示記錄部分、計(jì)算部分組成。測(cè)量儀器的種類很多，按其工作原理可分為：

1械測(cè)量儀器。如杠桿齒輪比較器、扭簧比較器和千分尺。

2光學(xué)測(cè)量儀。如千分尺自準(zhǔn)直儀、角度比較儀、平面度檢測(cè)儀、立式光學(xué)儀、臥式光學(xué)儀、超光學(xué)儀、立式測(cè)長儀、**測(cè)長儀、工具顯微鏡、投影儀、接觸式干涉儀、激光干涉儀、激光干涉儀和光學(xué)分度頭等.

3電測(cè)儀表。如電測(cè)微計(jì)、靜態(tài)光電顯微鏡、動(dòng)態(tài)光電顯微鏡、光電準(zhǔn)直光管、電感式比較器、電容式比較器、輪廓儀、圓度儀等。

4氣動(dòng)測(cè)量儀。如低壓水柱氣動(dòng)測(cè)量儀、壓差水柱氣動(dòng)測(cè)量儀、壓差水銀柱氣動(dòng)測(cè)量儀、高壓膜式氣動(dòng)測(cè)量儀、波紋管氣動(dòng)測(cè)量儀和流量型氣動(dòng)測(cè)量儀（浮標(biāo)式氣動(dòng)測(cè)量儀）等待。此外，測(cè)量儀器還可以根據(jù)用途進(jìn)行分類。測(cè)量儀器的精度評(píng)價(jià)方法主要有檢定法、比較法和誤差分離法。